เทคโนโลยีไนไตรด์แกลเลียม และโรงงานผลิตที่มีอยู่ สายพันธุ์วิศวกรรมสามารถให้วิธีการกระทำสำหรับจอแสดงผลขนาดเล็ก
อิงจากสายพันธุ์วิศวกรรมของอินเดียมแกลเลียมไนไตรด์ (InGaN) หลายหลุมควอนตัม มหาวิทยาลัยมิชิแกนได้พัฒนาเป็นเสาหินตัวเหลืองเขียว-น้ำเงิน LED (1 รูป) วิศวกรรมสายพันธุ์จะทำได้ โดยการแกะสลักต่าง ๆ เส้นผ่านศูนย์กลางของคอลัมน์นาโน
รูปที่ 1 เส้นผ่าศูนย์กลางต่าง ๆ ของอาร์เรย์คอลัมน์ nano led จาก schematic ผลิตบนลง
ความหวังของนักวิจัยในการผลิตสีแดงเขียวน้ำเงินนำในอนาคต มีการ 635nm เรืองควอนตัมดี ให้นำวิธีการทำงานไมโครจอแสดงผลอิงพิกเซลนี้ การใช้งานอื่น ๆ ได้แก่ไฟ biosensors และแสงพันธุศาสตร์
นอกเหนือจากการสนับสนุนจากมูลนิธิวิทยาศาสตร์ (NSF) ชาติ ซัมซุงรองรับผลิตและออกแบบอุปกรณ์ นักวิจัยหวังว่าจะพัฒนาชิระดับสี LED เวทีอิงโครงสร้างพื้นฐานการผลิตที่มีอยู่
Epitaxial วัสดุที่ปลูกบนไพลิน 2 นิ้วไม่มีลวดลาย โดยการสะสมไอสารเคมีโลหะอินทรีย์ (MOCVD) พื้นที่ใช้งานส่องสว่างประกอบด้วย 2 5 กับดัก 5nm InGaN คั่น ด้วยประตูกัน 12nm ชั้นกั้นอิเล็กทรอนิกส์และชั้น P ติดต่อประกอบด้วยไนไตรด์ 20nm แกลเลียม (P al0.2ga0.8N) และ 150nm P-gan ตามลำดับ
คอลัมน์นาโนจะเกิดขึ้นโดยการทำลวดลายวงจรลำแสงอิเล็กตรอน และหน้ากากนิกเกิลใช้สำหรับกระบวนการผสมเปียก และแห้งแกะสลัก การแกะสลักส่วนใหญ่เป็นพลาสม่าอุปการแห้ง และใช้ขั้นตอนการแกะสลักเปียก เพื่อบรรลุการผ่าสุดท้าย และลบความเสียหายจากขั้นตอนแกะสลักแห้ง ความลึกการกัดจะเกี่ยวกับ 300nm ในระหว่างกระบวนการผลิตทั้งหมด รูปแบบการแกะสลักได้รับการป้องกันเพื่อปกป้องพื้นผิว P กัน
หลังจากที่ทำการสะสมไอสารเคมีเพิ่มพลาสม่า (PECVD) ของ 50nm ซิลิคอนไนไตรด์ โครงสร้างที่ถูกสร้างขึ้น โดยใช้หมุนเคลือบแก้วเพื่อแยกชิ้นส่วน N และ P-gan
การกัดกร่อนชนิดแห้งของโครงสร้างแบนให้ปลายของคอลัมน์ เอาวัสดุพรางนิกเกิลกับกรดไนตริก ความร้อนมีอบ metallization นิกเกิล/ทองติดต่อ P ในอากาศ
ประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ไฟฟ้าแสดงการรั่วไหลต่ำของเกี่ยวกับ 3 x 10-7a ต่อพิกเซลที่ 5V กลับอคติ รั่วไหลต่ำเกิดจากสองปัจจัยที่แบนควอนตัมดีให้เอ crowding ปัจจุบันต่ำ และข้อจำกัดของผู้ให้บริการเริ่มต้นที่สายพันธุ์ศูนย์นาโนคอลัมน์ ความเสี่ยงของผลลดลงเนื่องจากความหนามากกว่าในคอลัมน์แคบสามารถถูกปรับปรุง โดยการลดความเครียด ลดควอนตัมจำกัด "สิ้นเชิงผล" ของสนามไฟฟ้าที่เกิดจากการโพลาไรซ์ค่าของพันธะเคมีในเดอะไนไตรด์
พิกเซลประกอบด้วยคอลัมน์ที่มีเส้นผ่าศูนย์กลางแตกต่างกันและสีที่แตกต่าง (2 รูป) เส้นผ่าศูนย์กลางเพิ่มขึ้น ความยาวคลื่นจะยาวขึ้น และการเปลี่ยนแปลงมีค่า นักวิจัยส่วนของการเปลี่ยนแปลงควอนตัมดีหนาบนเวเฟอร์
ภาพหน้าจอ QQ 20170916103202 png
รูป 2 (ก) อุณหภูมิห้อง electroluminescent สเปกตรัมของสีฟ้า (487nm), เขียว (512nm), ส้ม (575nm) และแอมเบอร์ (600 นาโนเมตร) แสงจาก 50nm, 100nm และ 800nm เส้นผ่าศูนย์กลางคอลัมน์นาโน และฟิล์มบางนำพิกเซล
(ข)ความยาวคลื่นของแสงได้ โดยทฤษฎีการผ่อนคลายความเครียด one-dimensional
(ค) ตำแหน่งสูงภายใต้ต่าง ๆ ลำเอียงแรงดันไฟฟ้า
กับการเพิ่มแรงดันไฟฟ้าและฉีดปัจจุบัน nanotubes หลวมขึ้นและแคบแสดงกะสีน้ำเงินความยาวคลื่นน้อยกว่าด้วย 800nm ขนาดนาโนคอลัมน์พิกเซลสีฟ้ากะระหว่าง 2.8V และ 4V อยู่ 40nm เนื่องจากทีมวิจัยที่ตะแกรงผ่านฟิลด์ขึ้นอยู่กับสายพันธุ์แรงในกับดักได้
ทีมงานคงที่แรงดัน bias และเปลี่ยนความเข้มผ่านสัญญาณคลื่นชีพจร ดังนั้น เสถียรภาพความยาวคลื่นเอาท์พุทของพิกเซล ผ่านการทดสอบนี้ มันจะแสดงว่า เซลทุกชนิดให้คงความยาวคลื่นและความเข้มสัมพัทธ์ electroluminescence และมีการเปลี่ยนแปลงอัตราภาษีของสัญญาณชีพจรเกือบเชิงเส้น ความกว้างพัลส์เป็น 400μs พัลส์ความถี่ระหว่าง 200Hz 2000Hz แตกต่างกันไป
